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주요연구성과

Project name : 고밀도 플라즈마 이온원을 이용한 표면/계면 가공 및 성분분석 장치 개발

Main Participant : (주)에스엔

 

Development duration : 16.07.01 - 17.02.28

Project Goals

최적 인출구경 및 Extractor 설계 및 제작 평가

인출 이온빔의 광축 정렬 보정방법/영상분해능 및 가공성능 향상기술개발

가변조리개의 크기 선정

영상획득 시 고주파 전원 노이즈의 간섭문제

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