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FIB 가공에 의한 단면 관찰·해석
• FIB(Focused Ion Beam: 집속이온빔)은 수 nm로 가늘고 좁은 이온빔으로 시료의 원하는 분석위치에 정밀하게 가공해, 목적지의 단면을 관찰할 수 있는 장치이다.
• 화상을 관측하면서 원하는 분석위치의 단면을 정확하게 노출할 수 있는 것 외에 이온의 스퍼터시에 방출되는 2차 전자를 신호로서 가시화한 SIM상은 SEM상에 비해 조성 콘트라스트, 결정방위 콘트라스가 강하게 나타나기 때문에 조성상이나 금속 결정립의 확인 등에 적합하다.
• FIB에서의 가공·관찰 전후에 필요한 각종의 평가시험이나 관찰·분석·측정에도 대응이 가능
Categories : Analysis Techniques, Failure Analysis, Sample Preparation
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장비 Opation
- 4ch Multi-Gas Supply System II
- Continuous Auto Pilot Software
- Automated TEM Sample Preparation (A-TEM)
- Micro Probing System
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Application
- SEM, STEM and TEM sample preparation
- High resolution cross-section images of small, hard-to-access sample features